11月9日至12日，第七屆國際發(fā)明展覽會暨國際教學(xué)新儀器和新設(shè)備展覽會在昆山舉行，微電子所“固態(tài)射頻電源系統(tǒng)”和“45-22nm集成式光學(xué)臨界尺度（OCD）在線檢測設(shè)備”兩個項目獲得“銀獎”。

此次展會重點聚焦能夠體現(xiàn)產(chǎn)業(yè)特色、彰顯產(chǎn)品特點的優(yōu)秀技術(shù)、節(jié)能減排產(chǎn)品、高端裝備制造、生物技術(shù)、新材料、新能源、新一代信息技術(shù)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和文化產(chǎn)業(yè)有關(guān)的產(chǎn)品。除國內(nèi)各省市、自治區(qū)及有關(guān)行業(yè)協(xié)會、解放軍等單位參展外，境外也有40多個國家和地區(qū)派團(tuán)參展，展位數(shù)超2400個，參展人數(shù)超10萬人次。

微電子所作為“首都科技條件平臺中科院研發(fā)試驗服務(wù)基地”的首批簽約成員單位，繼2011年第二十屆中國發(fā)明展上取得好成績后，今年又受邀參加此次展覽。微電子所設(shè)備技術(shù)研究室經(jīng)過篩選，組織了“固態(tài)射頻電源系統(tǒng)”和“45-22nm集成式光學(xué)臨界尺度（OCD）在線檢測設(shè)備”兩個項目參展，這兩個項目均得到了國家科技重大專項的支持，不少觀眾駐足觀看項目介紹，咨詢相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)。經(jīng)組委會組織的專家評審，微電子所的兩個參展項目均獲得本次展覽的“銀獎”。（中國科學(xué)院微電子所）