物理學報  2001, Vol. 50  Issue (10): 2017-2022

葉超, 寧兆元, 程珊華
蘇州大學物理系,蘇州215006
OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS PREPARED BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA
YE CHAO, NING ZHAO-YUAN, CHENG SHAN-HUA

摘要： 用紫外可見光透射光譜(UV-VIS)并結合鍵結構的X射線光電子能譜(XPS)和紅外譜(FTIR)分析,研究了電子回旋共振等離子體增強化學氣相沉積法制備的氟化非晶碳薄膜的光吸收和光學帶隙性質.在微波功率為140—700W、源氣體CHF3∶C6H6比例為1∶1—10∶1條件下沉積的薄膜,光學帶隙在1.76—2.85eV之間.薄膜中氟的引入對吸收邊和光學帶隙產生較大的影響,吸收邊隨氟含量的提高而增大,光學帶隙則主要取決于CF鍵的含量,是由于強電負

引用本文:   
葉超,寧兆元,程珊華. 電子回旋共振等離子體增強沉積氟化非晶碳薄膜的光學性質. 物理學報, 2001, 50(10): 2022. 
Cite this article:   
YE CHAO,NING ZHAO-YUAN,CHENG SHAN-HUA. OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS PREPARED BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA. Acta Phys. Sin., 2001, 50(10): 2017-2022. 

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