射頻MEMS技術(shù)是近年來發(fā)展迅速的高新技術(shù)，它具有微型化、低損耗、可集成、成本低等特點(diǎn)，用它實(shí)現(xiàn)相關(guān)射頻器件或系統(tǒng)可為無線通信技術(shù)帶來新的變化。本論文受重慶市教育委員會(huì)科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目“基于復(fù)合腔結(jié)構(gòu)MEMS諧振器、濾波器應(yīng)用研究”(No．020508)支持，主要研究了射頻MEMS諧振器、濾波器相關(guān)的基礎(chǔ)理論及其器件設(shè)計(jì)研究。

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