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硅酸鹽所研發出4英寸碳化硅單晶

2013-02-17 來源:中國科學報 字號:

記者從中國科學院上海硅酸鹽研究所獲悉,該所科技人員立足自主研發,在掌握直徑2英寸、3英寸碳化硅單晶生長技術之后,2月4日,成功生長出直徑4英寸4H晶型碳化硅單晶,這標志著我國碳化硅單晶生長技術達到了國際一流水平。

據介紹,碳化硅單晶是一種寬禁帶半導體材料,具有禁帶寬度大,飽和漂移速度高,臨界擊穿場強大,熱導率高等諸多特點,主要用于制作高亮度LED、二極管、MOSFET等器件。在綠色照明領域,用碳化硅襯底制作的LED性能遠優于藍寶石襯底。專家表示,碳化硅襯底需求將在短期內迎來一個爆發增長期。

該項目得到國家重大專項和“863”計劃的支持。

(原載于《中國科學報》2013-02-07 第1版 要聞)

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