近年來，我們使用的電腦、手機(jī)等速度更快、耗電更省、成本更低，這有賴于集成電路制造工藝的不斷進(jìn)步。記者近日從中國科學(xué)院微電子研究所獲悉，該所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在22納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)上取得突破性進(jìn)展，掌握這種最先進(jìn)的集成電路制造工藝將有利于提升我國自主生產(chǎn)制造更加質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的集成電路產(chǎn)品的能力。

 

22納米技術(shù)代集成電路技術(shù)是全球正在研發(fā)的最新一代集成電路制造工藝，各國都投入了巨大資金，誰先把這種技術(shù)開發(fā)出來，誰就能降低集成電路產(chǎn)品的成本，搶占市場(chǎng)先機(jī)。多年來，我國的集成電路制造工藝大多是在引進(jìn)國外知識(shí)產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)上進(jìn)行產(chǎn)品工藝開發(fā)，在全球產(chǎn)業(yè)鏈最先進(jìn)工藝的開發(fā)上缺少布局和話語權(quán)。2009年，我國在國家科技重大專項(xiàng)的支持下開始22納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)工作，經(jīng)過3年多努力取得突破性進(jìn)展。

 

據(jù)介紹，22納米約相當(dāng)于普通成年人頭發(fā)絲直徑的2300分之一，采用22納米集成電路技術(shù)可以在一根頭發(fā)絲的橫截面上集成大約1000萬個(gè)晶體管，從而使集成電路產(chǎn)品的功能更多樣化，速度更快，成本更低。研究人員摒棄了傳統(tǒng)的二氧化硅、多晶硅等材料，采用了高K材料、金屬柵材料等新材料新工藝，研制出了性能良好的器件，技術(shù)水平達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流。

 

研發(fā)過程中，中國科學(xué)院與北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)的聯(lián)合項(xiàng)目組完成了1369項(xiàng)專利申請(qǐng)，其中包括424項(xiàng)國際專利申請(qǐng)，為我國在集成電路領(lǐng)域掌握自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，取得國際話語權(quán)奠定了基礎(chǔ)。該成果的取得也為我國繼續(xù)自主研發(fā)更先進(jìn)的16納米及以下技術(shù)代的關(guān)鍵工藝提供了必要的技術(shù)支撐。