日前，中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)技術實驗室采用65nm標準Si CMOS工藝，單芯片產生了100GHz以上毫米波信號，經法國國家實驗室IEMN(Institute of Electronics, Microelectronics and Nano-electronics)測試，中心頻率達到150GHz。

隨著CMOS器件工藝線線寬的進一步縮小，CMOS器件的截止頻率已達到數(shù)百GHz甚至逼近1THz，加上Si基CMOS集成工藝固有的高集成度、低成本、低功耗及與基帶模塊工藝相兼容等特點，采用標準Si CMOS工藝設計和實現(xiàn)低成本、高復雜度的單芯片毫米波集成系統(tǒng)已成為國際上的研究熱點。與國外今年6月發(fā)表的由TI、NXP等研究機構完成的220GHz Si CMOS單芯片收發(fā)系統(tǒng)相比，目前國內只有少數(shù)幾個研究機構從事相關的研究，已經發(fā)表的結果還不多。

單芯片毫米波系統(tǒng)具有很高的空間分辨率和大帶寬短距離無線通信能力，同時具備獨特的生物效應。因此，可以預見，單芯片毫米波技術將會在無線傳感網(wǎng)領域以及醫(yī)療電子領域特別是MBAN及目標探測方面具有廣闊的應用前景，是物聯(lián)網(wǎng)技術進一步發(fā)展的核心技術之一。上海微系統(tǒng)所田彤研究員及其研究組在五室各方面的支持下，正以此結果為起點，開展全面的Si CMOS技術低成本、高集成度單芯片毫米波集成系統(tǒng)及相關應用技術研究，可望在便攜式醫(yī)療電子設備、人體參數(shù)傳感器、MBAN、車聯(lián)網(wǎng)、運動探測技術、3D無線成像技術及小目標探測技術方面取得廣泛應用。

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