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微傳感器和MEMS(微電子機械系統)正在使半導體工業領域發生一場新的變革。微系統也稱為”芯片系統”，將微電子電路和微傳感器及微執行器組合起來。這一新興領域已經顯示出它們在應用中未來發展的廣闊前景，應用范圍從電子鼻和智能耳到微型鑷子及打印機噴墨頭。
本書全面地介紹了微傳感器的制作工藝，是一部論述微傳感器、MEMS和智能器件成功應用的重要專著。
內容包括：
傳統和新型制作工藝介紹．包括硅的體微機械加工、微立體光刻和聚合物加工工藝。
重點介紹IDT(叉指式換能器)微傳感器在開發低能耗、無線MEMS或微機械中的應用。
本書涵蓋了智能器件的最新應用，包括電子鼻、舌、手指，以及智能傳感器和智能結構．如智能皮膚。
通過傳感器陣列、傳感器信號的參數補償和專用集成電路技術的應用，對智能敏感器件的發展做了概述。
綜合附錄介紹了MEMS的材料主要特性、相關網址和本領域中重要的研究機構。
本書有助于讀者增進對微系統的理解。其適宜讀者群為研究生、微電子專業的研究人員、微傳感器系統工程師和開發人員。書中對材料特性的詳細介紹，對機械工程師、物理和材料專業工作者具有重要的參考和實用價值。

1 引 言
1.1 微電子學的發展史
1.2　微傳感器的進展
1.3 微電子機械系統的進展
1.4　微機械的出現
參考文獻
2　電子材料與加工技術
2.1 引 言
2.2 電子材料及其沉積
2.2.1 熱氧化膜的形成
2.2.2 二氧化硅和氮化硅沉積
2.2.3　多晶硅薄膜沉積
　2.3 圖形轉移
　 2.3.1 光刻工藝
　2.3.2　掩模形成
　 2.3.3 光刻膠
　2.3.4 剝離技術
　2.4 電子材料的腐蝕
　2.4.1 濕法化學腐蝕
　 2.4.2　干法腐蝕
　2.5　半導體中的摻雜
　2.5.1 擴散
　 2.5.2 離子注入
　2.6 結束語
參考文獻
3　微電子機械系統用材料及其制備
3.1 概 述
3.1.1 原子結構與周期表
　 3.1.2　原子鍵合
　3.1.3 晶 態
　3.2 金 屬
　3.2.1　物理和化學性質
　 3.2.2　金屬化
　3.3 半導體
　 3.3.1 半導體：電學和化學性質
　3.3.2　半導體：生長和沉積
　3.4 陶瓷、聚合物和復合材料
參考文獻
4　標準微電子工藝
4.1 引 言
4.2 晶片制作
4.2.1 晶體生長
4.2.2 晶片制作
4.2.3　外延沉積
4.3 單片加工
4.3.1　雙極加工工藝
4.3.2　雙極結型晶體管的性能
4.3.3　金屬氧化物半導體加工工藝
4.3.4　場效應晶體管性能
4.3.5 硅一絕緣體互補金屬氧化物半導體加工工藝
4.4 單片安裝
4.4.1 芯片和引線焊接
4.4.2　載帶自動焊接
4.4.3　倒裝載帶自動焊接
4.4.4　倒裝焊安裝
4.5 印刷電路板技術
4.5.1　硬質電路板
4.5.2　柔性電路板
4.5.3　塑料鑄模電路板
4.6 混合電路和多芯片組件技術
4.6.1 厚 膜
4.6.2 多芯片組件
4.6.3　球柵陣列
4.7 可編程器件和專用集成電路
　參考文獻
5　硅微機械加工：體加工技術
6　硅微機械加工：表面加工技術
7　用于MEMS的微立體光刻技術
8　微傳感器
9　聲表面波器件導論
10　固體中的聲表面波
11　叉指換能器（IDT）式微傳感器參數測量
12　叉指換能器（IDT）式微傳感器的制作
13　叉指換能器（IDT）式微傳感器
14　微電子機械系統－叉指換能器式（MEMS-IDT）微傳感器
15　智能傳感器和微電子機械系統
附錄
索引