近1O年來，隨著無線通信技術(shù)的迅猛發(fā)展，新一代高性能濾波器成為了目前研究的熱點之一。BAW濾波器因其優(yōu)異的性能具有很強的競爭力。本文簡要介紹了薄膜體聲波濾波器的結(jié)構(gòu)、原理及相關(guān)壓電薄膜材料等問題。目前的BAW器件尚存在一些急需解決的問題：如何獲得更大的耦合系數(shù)以滿足下一代通信系統(tǒng)中大數(shù)據(jù)量傳輸?shù)膸捯蟆⑷绾翁岣吖に囁揭员ＷC各膜層厚度誤差的匹配、如何獲得c軸一致取向的壓電薄膜等。盡管如此，完全可以相信，隨著第三代移動通信時代的到來，BAW濾波器憑借其獨特的優(yōu)勢必定會展現(xiàn)出更廣闊的應(yīng)用前景。

作者：蔣松濤、吳孟強、吳勇、張樹人，電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點實驗室

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