中芯國際集成電路制造有限公司（簡稱“中芯國際”，紐約證交所股票代碼：SMI，香港聯交所股票代碼：981），世界領先的集成電路晶圓代工企業之一，中國內地規模最大、技術最先進的集成電路晶圓制造企業，與中國科學院微電子研究所簽訂MEMS研發代工平臺合作協議，共同進行MEMS傳感器標準工藝開發，合作打造完整的MEMS產業鏈。

根據協議，中芯國際與中國科學院微電子研究所將進行深度合作，充分發揮微電子所在MEMS傳感器設計和成套工藝設計方面的優勢，以及中芯國際在標準化工藝平臺、產業地位及市場影響力方面的優勢，以MEMS環境傳感器的開發為牽引，并結合其他類型MEMS傳感器結構特點，推進傳感器工藝技術的標準化、平臺化和量產化，縮短從設計方案到量產產品的距離，促進MEMS產業的快速發展。

“中芯國際研發團隊在傳感器領域持續開發新的工藝平臺，引進新客戶，取得了很多新的成績。中芯國際愿意開放平臺，支持商業化生產、學校和科研院所的研發。”中芯國際首席執行官兼執行董事邱慈云博士表示，“中芯國際與微電子所在多個邏輯工藝開發項目上已有良好的合作基礎，此次我們將繼續深入合作，共同推進MEMS傳感器的成套標準化工藝開發，協助整合并完善MEMS產業鏈。”

中國科學院微電子所所長葉甜春參觀了中芯國際MEMS 傳感器中段生產線，并表示，“通過微電子所和中芯國際的產學研合作，我們可以發揮雙方的優勢，共同建設MEMS公共技術服務平臺和電子化MEMS產業鏈信息整合平臺，集產品設計、加工制造、封裝、測試、公共平臺、風險投資為一體，形成產業鏈上下游關系的協同以及公共資源的最大化共享，為全球及中國MEMS產業發展提供有力的支撐。”

關于中芯國際

中芯國際集成電路制造有限公司（“中芯國際”，紐交所代號：SMI，港交所股份代號：981），是世界領先的集成電路晶圓代工企業之一，也是中國內地規模最大、技術最先進的集成電路晶圓代工企業，提供0.35微米到28納米不同技術節點的晶圓代工與技術服務。中芯國際總部位于上海，擁有全球化的制造和服務基地。在上海建有一座300mm晶圓廠和一座200mm超大規模晶圓廠；在北京建有一座300mm超大規模晶圓廠和一座控股的300mm先進制程晶圓廠；在天津和深圳各建有一座200mm晶圓廠；在江陰有一座控股的300mm凸塊加工合資廠；在意大利有一座控股的200mm晶圓廠。中芯國際還在美國、歐洲、日本和臺灣地區設立行銷辦事處、提供客戶服務，同時在香港設立了代表處。

關于中國科學院微電子研究所

中國科學院微電子研究所是國內微電子領域學科方向布局最完整的綜合研究與開發機構，是中國科學院EDA中心、中國科學院物聯網研究發展中心、中國科學院大學微電子學院的依托單位，是國家科技重大專項集成電路裝備及工藝前瞻性研發牽頭組織單位。主要研究領域包括:高可靠器件與電路、集成電路先進制造工藝、集成電路設計技術、集成電路裝備、集成電路高密度封裝、物聯網核心技術、微波器件與電路、納米電子學等。現擁有2個基礎研究類中國科學院重點實驗室，4個行業服務類研發中心，5個行業應用類研發中心，3個核心產品類研發中心。其中，智能感知研發中心主要承擔MEMS傳感器的設計、制造、封裝、測試等專業技術的研發工作。此外，物聯網中心已牽頭建立起MEMS設計與制造平臺、SIP封裝平臺、通訊系統與芯片設計測試驗證分析平臺、物聯網軟件開發評測平臺、應用系統驗證評測平臺等公共服務平臺。