近日，武漢敏聲新技術(shù)有限公司（以下簡稱“武漢敏聲”）宣布，公司已經(jīng)完成WiFi2.4、B40、B41等氮化鋁（AlN）薄膜FBAR濾波器產(chǎn)品的主要研發(fā)工作，預(yù)計在2022年年底實現(xiàn)量產(chǎn)出貨。同時，武漢敏聲主攻5G新產(chǎn)品，在國內(nèi)率先打通高鈧摻雜氮化鋁（ScAlN）全流程工藝，成功研發(fā)出適用于N77、N79等5G頻段的BAW濾波器。公司技術(shù)團隊克服高鈧摻雜薄膜成分析出和相分離的技術(shù)挑戰(zhàn)，掌握鈧摻雜氮化鋁晶體C軸高擇優(yōu)取向薄膜沉積制備方法，突破了高鈧氮化鋁薄膜刻蝕不均勻、速率慢等工藝難點。

8英寸氮化鋁（AlN）和鈧摻雜氮化鋁（ScAlN）濾波器晶圓

高鈧摻雜氮化鋁（ScAlN）薄膜微觀結(jié)構(gòu)高分辨透射顯微鏡圖

作為一家快速成長的高科技公司，武漢敏聲在不到一年的時間里就研發(fā)出門檻極高的BAW濾波器，歸功于公司優(yōu)秀的產(chǎn)品研發(fā)團隊。武漢敏聲擁有一支以14名國際知名業(yè)內(nèi)專家為核心的強大研發(fā)團隊，面對海外巨頭的技術(shù)封鎖，公司堅持走獨立自主的技術(shù)路線，建設(shè)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的設(shè)計制程體系，掌握了高端濾波器的制造技術(shù)。公司團隊已申請發(fā)明專利134項，已授權(quán)專利35項，涵蓋了結(jié)構(gòu)設(shè)計、工藝制程、電子封裝、單片集成等領(lǐng)域，建立了多維度多角度的專利壁壘。

武漢敏聲的WiFi 2.4GHz和B40等產(chǎn)品指標(biāo)達到商業(yè)使用水平，其帶內(nèi)最低插損已達到1.5dB以下，帶外抑制超過30dB，產(chǎn)品尺寸為1.1mm x 0.9mm。插損值越小意味著信號的損耗越小，可以減小設(shè)備的能量消耗，同時提高信號的接收靈敏度并增加設(shè)備通信距離；帶外抑制越大則意味著對干擾信號的過濾能力越強，過濾后的信號越純凈，產(chǎn)品的用戶體驗越好。

在成熟的設(shè)計制程體系支撐下，武漢敏聲首次流片的N77（3400 ~ 3600 MHz）BAW濾波器，具有帶內(nèi)插損小于2 dB，帶寬200 MHz，帶外抑制超過30 dB的出色性能。相關(guān)產(chǎn)品經(jīng)過后續(xù)優(yōu)化和封裝后，產(chǎn)品性能指標(biāo)將達到國內(nèi)同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平。

高鈧摻雜氮化鋁（ScAlN）的5G濾波器N77的晶圓測試數(shù)據(jù)

除了傳統(tǒng)的FBAR產(chǎn)品外，公司自主研發(fā)的下一代PBAR產(chǎn)品擁有全新的設(shè)計和工藝，除了具有FBAR產(chǎn)品低插損、高抑制的優(yōu)勢外，還可以工作在更高頻段（5 GHz以上），獲得更大帶寬（500 MHz以上），在6 GHz高頻下機電耦合系數(shù)已經(jīng)超過20%，將把濾波器產(chǎn)品的性能提升到一個新水平。

PBAR產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖

高機電耦合系數(shù)（Kt2）值諧振器

截至2021年底，武漢敏聲已經(jīng)累計獲得數(shù)億元投資。作為國內(nèi)少數(shù)濾波器IDM廠家之一，武漢敏聲正在積極建設(shè)專有產(chǎn)線。在2021年8月，武漢敏聲和全球排名領(lǐng)先的MEMS代工廠-北京賽微電子股份有限公司（以下簡稱“北京賽微”），就共建8英寸射頻濾波器生產(chǎn)線簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議。雙方?jīng)Q定共同投入工藝設(shè)備，分工合作，建立國內(nèi)領(lǐng)先的專用射頻濾波器生產(chǎn)線。憑借武漢敏聲獨有的設(shè)備及工藝技術(shù)能力，結(jié)合北京賽微成熟的生產(chǎn)運營經(jīng)驗，8英寸射頻濾波器生產(chǎn)線的建設(shè)，將加速高端濾波器在國內(nèi)大規(guī)模量產(chǎn)的進程。預(yù)計2022年底，北京產(chǎn)線將實現(xiàn)通線并達到約2000片/月產(chǎn)能。

隨著以5G和WiFi 6為代表的無線通信技術(shù)不斷發(fā)展，5G手機、WiFi 6路由器、物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)品等新設(shè)備涌入市場，推動著射頻濾波器市場規(guī)模的持續(xù)提升。據(jù)估計，2025年射頻前端市場規(guī)模將超過250億美元，其中濾波器市場的規(guī)模將超過百億美元。全球約95%的射頻前端市場被美日廠商壟斷，我國每年有高達90%的射頻前端進口需求。濾波器行業(yè)屬于技術(shù)、資本密集型行業(yè)，門檻高，人才缺口大。尤其以BAW濾波器為例，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造過程涉及多種材料，多步工藝，對產(chǎn)品設(shè)計經(jīng)驗，工藝制程以及專利布局要求極高，國際上只有少數(shù)IDM廠家具備穩(wěn)定的產(chǎn)品供貨能力。

長風(fēng)破浪會有時，直掛云帆濟滄海。隨著中國成為全球最重要的智能手機市場，射頻前端核心元器件的國產(chǎn)替代需求日益顯著。作為國產(chǎn)BAW濾波器的代表廠家，武漢敏聲擁有完整的IDM團隊，專業(yè)的芯片設(shè)計應(yīng)用專家，以及具有豐富經(jīng)驗的工藝制程技術(shù)專家，必將率先實現(xiàn)高端濾波器國產(chǎn)替代，為我國高端濾波器的突破發(fā)展貢獻力量。