腔體濾波器的替代產(chǎn)品——硅腔MEMS濾波器(4-20GHz)

采用高精度微納米加工、硅圓片直接鍵合、TSV(硅通孔)等MEMS技術(shù)制作的新一代硅腔濾波器芯片，體積較傳統(tǒng)的腔體濾波器縮小了幾百倍。為微波多功能集成模塊的小型化提供了新選擇。
頻率范圍可以覆蓋L-Ku 波段，頻段正在向40GHz 發(fā)展。?！叭忾]”式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使本底抑制達(dá)到60dB以上。

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