11月5日，在第三屆中國國際進(jìn)口博覽會(huì)現(xiàn)場，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波在接受澎湃新聞（www.thepaper.cn）專訪時(shí)表示，該公司對向中國出口集成電路光刻機(jī)持開放態(tài)度，對全球客戶均一視同仁，在法律法規(guī)框架下，都將全力支持。

當(dāng)前，中國已成為全球集成電路發(fā)展增速最快的地區(qū)之一。集成電路產(chǎn)業(yè)同時(shí)也是中國國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，地位十分重要。

ASML公司是一家總部設(shè)在荷蘭Veldhoven市的全球最大的集成電路設(shè)備制造商之一。該公司所生產(chǎn)的光刻機(jī)是生產(chǎn)集成電路過程必不可少的核心角色。目前該公司所產(chǎn)最尖端EUV（極紫外光）光刻機(jī)的加工極限已達(dá)到5納米。美國蘋果公司最新版iPhone12所搭載芯片即為在ASML支持下所產(chǎn)5納米芯片。

澎湃新聞：目前ASML在全球集成電路光刻機(jī)領(lǐng)域處于龍頭地位，你認(rèn)為這種地位是如何得來的？

沈波：

現(xiàn)在大家可能更多關(guān)注的是結(jié)果，是我們目前的位置，但其實(shí)對我們來說，取得如今位置的過程更重要。ASML公司成立36年來，中間經(jīng)歷了非常多的曲折與坎坷，尤其是前十年很多次幾乎都要死掉了，后來我們慢慢地在技術(shù)上摸索出了自己的一條道路之后，再經(jīng)過非常多的努力，才一步步走到今天。

其中我覺得有兩點(diǎn)原因尤為重要：第一，整個(gè)公司從研發(fā)到生產(chǎn)都處于一個(gè)非常開放的狀態(tài)，我們合作伙伴非常多，與客戶之間也互相非常透明，很多事情共同開發(fā)。ASML產(chǎn)品的85%的零部件是與供應(yīng)鏈共同研發(fā)的。開放的生態(tài)系統(tǒng)能讓企業(yè)在全世界找到最好的供應(yīng)商，包括光學(xué)器件、機(jī)械裝置等。

第二，是我們公司對于技術(shù)的執(zhí)著。ASML是一個(gè)工程師文化非常濃厚的公司，大多數(shù)員工都是工程師，所以對技術(shù)有著“咬定青山不放松”的勁頭，很多在外界看來不可能的事情，我們就有這個(gè)勁頭一直很偏執(zhí)地想去做成。

大家比較關(guān)注我們的最新技術(shù)，其實(shí)這背后有幾十年的努力，一個(gè)產(chǎn)品我們可能20年前就提出想法，然后20年里投入200億歐元的研發(fā)費(fèi)用來做這個(gè)產(chǎn)品，在幾年前行業(yè)里還有很多人懷疑我們這個(gè)技術(shù)最后能不能工業(yè)化應(yīng)用，在這種情況下，可以說我們公司仍舊保持了一種初創(chuàng)精神。

澎湃新聞：公司目前在中國的發(fā)展情況如何？

沈波：

自30年前進(jìn)入中國市場以來，ASML已提供了全面的技術(shù)和能力來滿足中國客戶的需求。目前我們在中國一共為客戶提供了700多臺裝機(jī)。在遵守法律法規(guī)的同時(shí)，ASML全力支持客戶和中國集成電路行業(yè)的發(fā)展。

為了更好地支持和滿足客戶的需求，ASML于2000年在天津正式成立了分公司。目前，ASML在中國設(shè)有12個(gè)辦公室，11個(gè)倉儲物流中心，2處開發(fā)中心，1個(gè)培訓(xùn)中心，擁有1000多名員工。

我們最早一臺機(jī)器是1988年進(jìn)入中國的，一路走過來，在每個(gè)階段我們和中國集成電路業(yè)界都有著很好的合作。目前中國的700多臺裝機(jī)涵蓋了ASML公司絕大部分類型產(chǎn)品。

這里我想說明一下，大家有的時(shí)候可能會(huì)有一個(gè)誤解，是不是新的產(chǎn)品出來以后老的產(chǎn)品就過時(shí)了。其實(shí)現(xiàn)在回頭去看，我們80、90年代的產(chǎn)品現(xiàn)在市場上仍然會(huì)有很多需求。因?yàn)楝F(xiàn)在集成電路的應(yīng)用太多樣化了，7納米、5納米、3納米芯片的數(shù)量在整個(gè)芯片供應(yīng)鏈中大概只占10%多，絕大部分芯片是需要“成熟制程”的。比如現(xiàn)在物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子、軌道交通、超高壓輸電等“新基建”的多個(gè)方面大量需要的還是“成熟制程”的芯片。

我有時(shí)候覺得“高端”、“低端”這個(gè)分類是不對的，不同產(chǎn)品的芯片對光刻機(jī)的需求是不同的。有的可能就需要做5納米，有一些可能做40納米、28納米就夠了，有些甚至需要做90、110納米，不同產(chǎn)品類型的應(yīng)用場景不同。

澎湃新聞：下一步在中國市場的發(fā)展計(jì)劃是什么？如何看待未來中國集成電路市場？

沈波：

現(xiàn)在中國集成電路行業(yè)發(fā)展非常強(qiáng)勁，國家這幾年對集成電路投入也非常大，作為ASML來講就是跟著中國集成電路發(fā)展去更好地服務(wù)我們的客戶。因?yàn)楣饪虣C(jī)對客戶芯片廠來說是最核心設(shè)備，我們首先要保證機(jī)器的正常運(yùn)行，幫助客戶把產(chǎn)品做好，我們會(huì)加強(qiáng)這方面的服務(wù)支持力度。

近幾年我們在中國也建立了自己的培訓(xùn)中心，培養(yǎng)光刻行業(yè)人才。同時(shí)，在深圳和北京成了兩家技術(shù)開發(fā)中心，做計(jì)算光刻、量測等開發(fā)。

我們本次在進(jìn)博會(huì)帶來重點(diǎn)推介的就是包含建模分析、量測的整體光刻解決方案，該方案包括先進(jìn)控制能力的光刻機(jī)臺，計(jì)算光刻和測量共三大部分，形成一個(gè)“鐵三角”，通過建模、仿真、分析等技術(shù)，讓光刻邊緣定位精度不斷提高，讓成像達(dá)到最佳效果，ASML的整體光刻解決方案能夠提高產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率，不但能夠幫助行業(yè)客戶提升芯片的價(jià)值，同時(shí)也可以降低生產(chǎn)成本, 實(shí)現(xiàn)更廣泛的應(yīng)用。

總的來說，公司在中國整個(gè)狀態(tài)越來越好，未來服務(wù)會(huì)更多樣化，對中國的投入也會(huì)越來越大。

澎湃新聞：光刻機(jī)包括DUV（高紫外光）光刻機(jī)和EUV（極紫外光）光刻機(jī)等多種類型，下一步，ASML有沒有向中國出口EUV光刻機(jī)的打算？

沈波：

EUV光刻機(jī)我們還在等荷蘭政府的出口許可證。ASML必須要在遵守法律法規(guī)的前提下進(jìn)行光刻機(jī)出口。但我們對向中國出口光刻機(jī)是保持很開放態(tài)度的，我們對全球客戶都一視同仁，只要是我們能夠提供的技術(shù)和設(shè)備，我們都會(huì)全力支持。實(shí)際上，2020年第二、第三季度，公司發(fā)往中國大陸地區(qū)的光刻機(jī)臺數(shù)超過了全球總臺數(shù)的20%。

澎湃新聞：你對近期中國集成電路行業(yè)發(fā)展怎么看？

沈波：

集成電路行業(yè)歷史其實(shí)也有60年了，現(xiàn)在整個(gè)信息化時(shí)代產(chǎn)生的數(shù)據(jù)和對計(jì)算能力的要求越來越高，整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)也在社會(huì)發(fā)展和科技進(jìn)步層面，變成了非?；A(chǔ)性的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)。

但是，芯片的制造有上千道工序，并不是只有光刻，從我們的角度來看，整體工藝水平到一定程度之后，對設(shè)備就有一些不同需求，但前邊的技術(shù)儲備時(shí)間是要非常長的，不是說今天覺得可以去做就能夠做了，我覺得現(xiàn)在這個(gè)行業(yè)大家有點(diǎn)太過“積極”了，應(yīng)當(dāng)充分認(rèn)識到行業(yè)中的風(fēng)險(xiǎn)和難度。

我們干這個(gè)行業(yè)，最大的一個(gè)體會(huì)就是，這真的是一個(gè)很難的行業(yè)，非常難，需要大家有耐心、有毅力、能堅(jiān)持，真的往里持續(xù)投入，去把一個(gè)個(gè)問題解決，才能真正往前發(fā)展，要能夠沉得下心來。

從芯片制造行業(yè)發(fā)展角度來講，全球有一個(gè)不斷整合的過程，中國最終也會(huì)融入到這個(gè)體系之中，所以有一些必須經(jīng)歷的過程可能還是要經(jīng)歷。

澎湃新聞：你認(rèn)為集成電路技術(shù)下一步的發(fā)展方向是什么？

沈波：

隨著5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，催化出超乎想象的各種應(yīng)用，對芯片性能提出了更高要求?，F(xiàn)在集成電路行業(yè)談摩爾定律談得比較多，即大概每兩年芯片技術(shù)要往前走一步，實(shí)際上就導(dǎo)致每兩年芯片的性能更強(qiáng)大了，成本更低了。比如，十年前買一個(gè)512M的U盤可能要幾百塊錢，現(xiàn)在幾塊錢就能買到，摩爾定律實(shí)際上是讓芯片變便宜了，這都是技術(shù)發(fā)展帶來的。

整個(gè)行業(yè)方面，我認(rèn)為大家推進(jìn)集成電路行業(yè)往前走有幾個(gè)大的方向：一個(gè)是從物理的角度讓芯片變得小一些，這方面我們ASML扮演一個(gè)角色；同時(shí)，行業(yè)還要把芯片的集成度提高，讓芯片的功能不再單一，原來存儲就是存儲，邏輯就是邏輯，現(xiàn)在可能在同一個(gè)芯片可能可以集成多種功能；另外，就是芯片本身器件和材料的進(jìn)步，比如硅基芯片看看是不是要做化鈷芯片。這些方向結(jié)合起來，會(huì)讓芯片做的越來越強(qiáng)大，越來越便宜。

澎湃新聞：作為行業(yè)龍頭害不害怕來自其他公司的競爭沖擊你們目前的地位？

沈波：

不害怕，我們一直強(qiáng)調(diào)，ASML是一個(gè)很開放的公司，競爭一定會(huì)推動(dòng)技術(shù)的進(jìn)步，所以我們是歡迎競爭的，只有競爭才能充分把大家所有聰明才智充分挖掘出來，推動(dòng)行業(yè)發(fā)展。我覺得我們公司某種程度上有這個(gè)使命，幫助整個(gè)行業(yè)繼續(xù)往前走，只要是有利于各行業(yè)向前發(fā)展的事我們都?xì)g迎。

一個(gè)系統(tǒng)內(nèi)部，大家分工協(xié)作最有效率，芯片技術(shù)越來越有競爭力，人們才能消費(fèi)到價(jià)格更低、性能更好的電子產(chǎn)品。只有開放才能最有效地創(chuàng)新，關(guān)起門來效率是非常低的。