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| 資料語言： | 簡體中文 |
| 資料類別： | Office文檔 |
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| 更新時間： | 2014-03-18 16:42:17 |
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隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，現(xiàn)有微波頻譜日益擁擠，更高工作頻率及更寬工作頻帶的系統(tǒng)研究已經(jīng)受到世界各國的關(guān)注并取得了一定的進展。
隨著毫米波雷達、毫米波制導(dǎo)和毫米波通信等系統(tǒng)的發(fā)展以及對小型化、高性能的需求, 系統(tǒng)集成化、單片化技術(shù)已經(jīng)成為各國目前的研究熱點。
利用MEMS 工藝制作的毫米波無源器件，具備小體積、高性能、一致性好且可以與常規(guī) MMIC 工藝相兼容等優(yōu)點，成為解決單片毫米波收發(fā)組件的最佳手段。
本文介紹了MEMS毫米波濾波器的結(jié)構(gòu)、原理，以及MEMS毫米波濾波器的工藝流程
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