Analyses of Radio Frequency(RF) Integrated Soft Magnetic Film Devices

文章首先介紹了在行波場存在的情況下，怎樣對射頻直到6GHz 頻率范圍內的金屬軟磁薄膜的磁導率進行測量。然后，在軟磁薄膜復數磁導率分布圖的基礎上，系統地論述了金屬軟磁薄膜在射頻頻段范圍內的應用。這種磁膜用在工作頻率為2GHz 的繞有4 匝尺寸為200×400(μm2) 矩形螺旋線圈的鐵磁射頻集成電感器及在AC 場中，靈敏度為4.8×10-6Am-1/ HZ (6×10-12T/ HZ ) 的高頻載波型薄膜磁場傳感器（也被稱為GMI 傳感器）時具有最佳性能：L=7.9nH 和Q=12.7。文章對這兩種磁器件進行了詳細分析。