無線通信技術(shù)的迅猛發(fā)展對頻率器件提出了微型化、低功耗、高性能等要求。傳統(tǒng) 射頻頻率器件的解決方案主要是微波介質(zhì)陶瓷和聲表面波(SAW)技術(shù)。前者雖有較好 的性能，但體積太大；后者體積雖小，但存在著工作頻率不高、插入損耗較大、功率容 量較低等缺點。薄膜體聲波諧振濾波器(FBAR filter)既綜合了介質(zhì)陶瓷性能優(yōu)越和SAW 體積較小的優(yōu)勢，又克服兩者的缺點，其工作頻率高、功率容量大、損耗低、體積小， 是目前唯一有望集成的射頻濾波器技術(shù)，正成為國內(nèi)外研究的熱點。

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