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射頻微機電系統技術是微機電系統的重要組成部分，本書主要從理論、設計、加工、封裝和應用等方面介紹射頻微機電系統器件與系統，結合作者及其團隊近年來在相關領域的研究成果，詳細分析和闡述傳輸線、天線、可調電感、可變電容、開關、濾波器、移相器等核心器件的基本原理、主要類型、設計方法、加工技術、性能測試和典型應用等，為讀者勾勒出射頻微機電系統技術較為全面的技術基礎、研究現狀和發(fā)展趨勢。
本書可作為微米納米技術領域高年級本科生、研究生和教師的參考用書，并可供相關的科技人員參考。

前言
第一章  RF MEMS
  1.1  MEMS概述
  1.2  RF MEMS簡介
  1.3  RF MEMS發(fā)展歷史
  1.4  RF MEMS常用工藝
    1.4.1  體硅工藝
    1.4.2  表面硅工藝
  1.5  RF MEMS應用
    1.5.1  在可重構電路中的應用 
    1.5.2  在手提式無線系統中的應用
    1.5.3  在基站中的應用
    1.5.4  在無線能量傳輸中的應用
    參考文獻
第二章  RF MEMS設計與仿真
　2.1  ANSYS
    2.1.1  主要功能
    2.1.2  分析實例：平行板電容
　2.2  CoventorWare 
    2.2.1  主要功能
    2.2.2  分析實例：可調電容
　2.3  IntelliSuite
    2.3.1  主要功能
    2.3.2  分析實例：RF開關
　2.4  HFSS
    2.4.1  主要功能
    2.4.2  分析實例：矩形波導腔體天線 
　2.5  CSTMicrowave Studio 
    2.5.1  主要功能
　　……
第三章　RF MEMS傳輸線
第四章　RF MEMS電感
第五章　RF MEMS可變電容
第六章　RF MEMS開關
第七章　RF MEMS濾波器
第八章　RF MEMS移相器
第九章　RF MEMS天線
第十章　RF MEMS封裝
索引